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    廣州祿米承接實(shí)驗(yàn)室空氣管道設(shè)計(jì)安裝

    產(chǎn)品型號(hào): 祿米-實(shí)驗(yàn)室氣體
    品  牌: 廣州祿米實(shí)驗(yàn)室設(shè)備科技有限公司
    • ≧1 套
      ¥1000.00
    所 在 地: 廣東廣州
    更新日期: 2024-12-27
    詳細(xì)信息
     品牌:廣州祿米實(shí)驗(yàn)室設(shè)備科技有限公司  加工定制:是  型號(hào):祿米-實(shí)驗(yàn)室氣體  
     重量:1-50 kg 適用范圍:實(shí)驗(yàn)室 儀器室  用途:實(shí)驗(yàn)室所需氣體傳輸  
     外形尺寸:定制 mm 材質(zhì):316不銹鋼  規(guī)格型號(hào):01  
    廣州祿米承接實(shí)驗(yàn)室空氣管道設(shè)計(jì)安裝
    實(shí)驗(yàn)室在使用高純氣體時(shí)存在著各類危險(xiǎn)因素,氣瓶本身的超高壓會(huì)使氣路部件產(chǎn)生崩裂的危險(xiǎn),同時(shí)根據(jù)氣體性質(zhì),又分為易燃易爆、有毒、易腐蝕等各類危險(xiǎn),如何安全有效的將氣體輸送到使用點(diǎn),是氣路系統(tǒng)要解決的問(wèn)題。采用專用減壓設(shè)備、專用輸氣管路、專用探測(cè)報(bào)警設(shè)備以及專用切斷泄壓設(shè)備等,使危險(xiǎn)情況降到***低,或發(fā)生危險(xiǎn)狀況時(shí)*時(shí)間報(bào)警并自動(dòng)進(jìn)行緊急處理。
              實(shí)驗(yàn)室常用氣體:氦氣、氮?dú)、氬氣、乙炔、甲烷、丙烷、氫氣、空氣?br />           1、供氣系統(tǒng)包括氣源集合壓力控制部分、輸氣管線部分、二次調(diào)壓分流部分與儀器連接的終端部分。供氣系統(tǒng)要求具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠。
              2、管道、閥件、管件、接頭等,如減壓器、終端壓力調(diào)節(jié)部分、截止閥、焊接接頭等所有部件均為316L不銹鋼材質(zhì),管路采用BA級(jí)內(nèi)外拋光。
              3、具備確保輸送到儀器的氣體純度的控制措施。
              4、能滿足實(shí)驗(yàn)儀器對(duì)氣體不間斷連續(xù)使用的要求,使用過(guò)程中根據(jù)不同實(shí)驗(yàn)儀器工作條件對(duì)整體或局部氣體壓力、流量進(jìn)行全量程調(diào)整,達(dá)到不同檢驗(yàn)條件的要求。
              5、不銹鋼減壓器的選材要求承受壓力必須大于鋼瓶***大設(shè)計(jì)壓力。
              6、為保證氣密性,除了需要拆卸維護(hù)和與儀器對(duì)接的部位采用卡套連接外,其余輸氣管線部分必須全部采用全自動(dòng)焊接技術(shù)焊接完成。要盡可能減少因接點(diǎn)引起的氣體泄漏,輸氣管路部分轉(zhuǎn)彎處應(yīng)避免或盡可能減少?gòu)濐^的使用。
              7、氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)能對(duì)室內(nèi)的可燃?xì)怏w及大氣氧含量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè),并設(shè)置聯(lián)動(dòng)機(jī)制。
              8、設(shè)置鋼瓶、管線等安全保護(hù)措施。
              9、氣源部分由鋼瓶和氣體發(fā)生器供給,確保氣體純度,必須具備輸出的穩(wěn)定性和連續(xù)性。
             10、不銹鋼減壓器必須具備輸出穩(wěn)定性和連續(xù)性,高壓金屬軟管連接鋼瓶必須保證氣密性。
             11、氣體終端壓力調(diào)節(jié)部分:對(duì)主氣路輸送的氣體應(yīng)獨(dú)立控制,進(jìn)氣壓力和出氣壓力顯示,按照不同分析儀器對(duì)氣體使用壓力的不同要求進(jìn)行二次調(diào)壓,必須保證對(duì)實(shí)驗(yàn)室分析儀器有穩(wěn)定的供氣氣流,設(shè)置中斷轉(zhuǎn)換方便不同儀器對(duì)接。

     

    氣體種類劃分:
        (1)易燃性氣體:把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

       (2)毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

    (3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

    (4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過(guò)程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

    (5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強(qiáng)的氧化性,一般同時(shí)具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
    (6)大宗氣體。屬于這類氣體有N2,O2,CO2等

     

     






     

     





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